토소쿼츠주식회사

제품 정보〈정밀가공제품〉

당사가 창립당초부터 주력하고 있는 분야로 정밀가공 제품이 있습니다. 분광기용 셀을 시작으로 분석/진단장비 내장용 셀 등으로 라인업을 넓히는 동시에, 그 가공 기술을 응용해서 각종 석영정밀가공 제품을 제공하고 있습니다. 최근, 리소그래피나 에칭 등도 기술 라인업에 추가해 더욱 응용 분야를 확대하고 있습니다.

정밀가공 제품분류와 제품예

제품 분류 제품 예
분석 · 진단장비의 부품 광학셀
마이크로유체칩
제조 · 검사장비의 부품 노즐
필터
연마제품 연마 기판
웨이퍼
기타 전송라이트

광학셀

석영유리셀은 그 뛰어난 광학특성과 내용매성을 이용하여 광학적 검출을 하는 각종 진단장비나 분석장비에 탑재되어 있습니다. 대표적인 응용사례는 혈액/소변 진단장비에 탑재되는 플로사이토메트리셀(플로우채널셀)이며 산란광이나 형광 측정에 사용됩니다.
이 밖에도 액체크로마토그래프용으로 형광검출기셀, 굴절률검출기셀이나 흡광도검출기용 초단광로셀 등 고객의 요구사양에 근거하여 다양한 셀을 제공하고 있습니다.

플로우채널셀의 사양과 바리에이션

항목 사양
유로 치수 ≧□0.05mm
유로 치수 정밀도 ± 0.02mm (± 0.005mm도 가능)
유로 길이 ≧0.1mm

※유로 형상은 정방형 외, 장방형도 가능합니다.

흡광도검출기용 초단광로셀의 사양

항목 사양
광로 길이 치수 10~200μm
광로 길이 정밀도 ±5%

마이크로유체칩

마이크로 유체칩은, 리소그래피 기술을 응용하여 석영 유리기판상에 미크론오더의 미세유로를 형성한 초정밀 가공 제품이며, 미량의 샘플분석과 미량의 화학합성에 사용됩니다. 무형광이며 화학적 내성에 뛰어난 석영유리를 사용하여, 당사의 우수한 유로표면성과 고정밀도 가공기술에 의한 고품위 마이크로유체칩을 실현합니다.

마이크로유체칩 사양

항목 대응가능범위 비고
제품 치수 ≦□5”
유로 폭 ≧5μm 1μm 개발중
유로 깊이 ≧2μm 1μm 개발중
샘플 도입 Hole직경 ≧φ100μm φ10μm 개발중

※표내의 수치는 대표치입니다. 제품 사양은 상담 후 설정해 드리겠습니다.

제조 · 검사장비의 부품

당사에서는 마이크로 유체칩을 제조하는 미세가공기술을 이용하여 MEMS용 부품의 가공도 행하고 있습니다. 열팽창률이 작은 석영유리를 사용함으로써 뛰어난 온도 안정성을 가진 MEMS제품을 실현할 수 있습니다. 양호한 광투과성, 내열성, 내용매성이나 고순도, 저열팽창률이라는 석영유리의 뛰어난 특성을 살려서 반도체 제조장비와 광통신 관련장비등에서 사용되는 각종 정밀부품을 제조하고 있습니다. 고객의 요구사양을 바탕으로 최적의 석영유리소재와 가공방법을 선택하여 제품을 완성합니다.

소재 * 가공 바리에이션

항목 바리에이션
석영유리소재 투명, 불투명, 검정색
가공 홈가공, 원형Hole, 각형Hole
표면 마무리 광학연마, 화염연마, 모랫발
차광 Cr코팅, Al코팅, 검정색 석영

전송라이트

전송라이트는 석영유리막대를 사용한 조명부품이며, 지향성이 뛰어나고 광량얼룩이나 치우침이 적고 균일하여 강력한 선상 광선을 얻을 수 있어서 CCD나 라인센서를 이용한 각종 검사장비, 스캐너용 등의 조명으로 최적입니다. 광원으로서는 할로겐램프, 메 하이드라이드램프, LED화이버라이트가이드 등을 사용할 수 있으며, 조사면으로부터 열방사가 적은 것도 특징의 하나입니다.
또한, 석영유리막대부와 광원부가 나누어져 있기 때문에 램프교환 등의 유지관리에도 뛰어납니다. 제품으로는 유효발광길이 100mm∼3000mm의 각종 길이에 대응가능합니다.