東ソー・クォーツ株式会社

製品情報〈精密加工製品〉

当社が創立当初から取り組んでいる分野として精密加工製品があります。分光器用セルに始まり分析/診断装置組込用セル等にラインナップを広げるとともに、その加工技術を応用して各種石英精密加工製品を提供しています。近年、リソグラフィやエッチングなども技術ラインナップに加え、更に応用分野を拡大しています。

精密加工製品分類と製品例

製品分類 製品例
分析・診断装置部品 光学セル
マイクロ流体チップ
製造・検査装置部品 ノズル
フィルター
研磨製品 研磨基板
ウェハー
その他 伝送ライト

光学セル

石英ガラスセルは、その優れた光学特性や耐溶媒性を利用して、光学的検出をおこなう各種診断装置や分析装置に搭載されています。代表的な応用例は、血液/尿診断装置に搭載されるフローサイトメトリー用セル(フローチャンネルセル)で、散乱光や蛍光の測定に使用されます。
この他にも、液体クロマトグラフ用として、蛍光検出器セル、屈折率検出器セルや吸光度検出器用超短光路セルなど、お客様の要求仕様に基づき様々なセルを提供しています。

フローチャンネルセル仕様とバリエーション

項目 仕様
流路寸法 ≧□0.05mm
流路寸法精度 ±0.02mm(±0.005mmも可能)
流路長 ≧0.1mm

※流路形状は正方形の他、長方形も可能です。

吸光度検出器用超短光路セル仕様

項目 仕様
光路長寸法 10~200μm
光路長精度 ±5%

マイクロ流体チップ

マイクロ流体チップは、リソグラフィ技術を応用して石英ガラス基板上にミクロンオーダーの微細流路を形成した超精密加工製品で、微量サンプル分析や微量化学合成に使用されます。無蛍光で化学的耐性に優れた石英ガラスを使用し、当社の優れた流路表面性や高精度加工技術により高品位なマイクロ流体チップを実現します。

マイクロ流体チップ仕様

項目 対応可能範囲 備考
製品寸法 ≦□5”
流路幅 ≧5μm 1μm開発中
流路深さ ≧2μm 1μm開発中
サンプル導入穴径 ≧φ100μm  φ10μm開発中

※表内の数値は代表値です。製品仕様はご相談の上設定させていただきます。

製造・検査装置部品

当社ではマイクロ流体チップを製造する微細加工技術を用いてMEMS用部品の加工もおこなっています。熱膨張率の小さな石英ガラスを使用することにより優れた温度安定性を有するMEMS製品を実現することが可能です。
良好な光透過性、耐熱性、耐溶媒性や高純度、低熱膨張率といった石英ガラスの優れた特性を生かして、半導体製造装置や光通信関連装置等で使用される各種精密部品を製造しています。お客様の要求仕様に基づき、最適な石英ガラス素材と加工方法の選択をおこない製品を作り上げます。

素材・加工バリエーション

項目 バリエーション
石英ガラス素材 透明、不透明、黒色
加工 溝切り、丸穴、角穴
表面仕上げ 光学研磨、焼き仕上げ、砂目
遮光 Crコート、Alコート、黒色石英

伝送ライト

伝送ライトは石英ガラスロッドを使用した照明部品で、指向性に優れ、光量ムラや偏りの少ない均一で強力な線状光線が得られるため、CCDやラインセンサを利用した各種検査装置、スキャナー用等の照明として最適です。光源としてはハロゲンランプ、メタルハライドランプ、LEDファイバーライトガイド等が使用でき、照射面からの熱放射が少ないことも特長のひとつです。また、石英ガラスロッド部と光源部が分かれているためランプ交換などのメンテナンス性にも優れています。製品としては、有効発光長100mm~3000mmの各種長さに対応可能です。