东曹石英株式会社

产品信息

半导体用产品

需要高纯度耐热材料的半导体制造工艺是石英玻璃最重要的应用领域之一。近年来,该工艺的自动化程度在不断提高,这导致了需要不断提高产品精度。随着半导体业界对於450mm硅晶片制造对应的技术要求增加,以及需要大规模处理的PV(太阳能电池),LED相关产业的蓬勃发展, 对於石英玻璃产品的大型化的需求日渐增加。市场对於大型化以及高精密度化的要求,敝司将持续提供我们高科技的加工技术满足客户期望。

液晶/有机EL面板的基板

石英玻璃具有高透光率和极小的热膨胀系数、一直用于 LCD、有机EL和触控面板制造工艺(即曝光工艺)中所用的液晶面板。随着这些面板尺寸的增加,液晶面板的尺寸也在变大。这个领域已经成为合成石英玻璃的主要应用领域。

精密加工产品

精密产品是我们公司成立以来一直从事的产品线。我们已经扩大了我们的产品线,加入了分光光度计比色皿、分析/诊断仪器等,并且还在开发这些产品的加工技术。近几年来,我们通过在产品线中增加光刻和蚀刻技术,进一步拓展了应用。