东曹石英株式会社

产品信息

自成立以来,我们公司的目标之一就是生产优质精密零部件。我们从生产分光镜元件入手,逐渐扩大了我们的产品线,加入了分析和诊断仪器以及其他领域的产品。现在,我们利用自有的加工技术生产和供应市场所需的各种石英玻璃精密零部件。最近,我们在技术阵容中增加了光刻和蚀刻技术,进一步扩大了应用领域。

精密加工产品分类及产品

产品分类 产品
分析・诊断装置部件 光学石英晶体
微流控芯片
制造・检验装置部件 喷嘴
过滤器
研磨产品 研磨基板
晶圆
其他 线性灯

光学石英晶体

石英玻璃试池因其优异的光学和耐化学性特征,被应用于各种光学诊断/分析仪器中,典型的应用案例是搭载于血液/尿液检测装置上的流式细胞仪鞘流池,可用于测量散射光和荧光。
作为液体色层分析用试池,我们还提供满足客户特定需求的其他类型的试池,包括荧光检测试池、折射率检测仪试池,以及用于吸光度检测仪的超短路径的试池。

流动通道试池的规格及种类

项目 规格
流路尺寸 ≧□0.05mm
流路尺寸精度 ±0.02 mm 典型値(也可达±0.005 mm的精度)
流路长度 ≧0.1mm

※流路形状可以是正方形,也可以是长方形

吸光检测器用极短光路部件的规格

项目 仕様
光路长度尺寸 10~200μm
光路长度精度 ±5%

微流控芯片

微流控芯片是利用光刻技术在石英基板上加工形成微米级精细流路的超精密加工部件,可运用于微量样品分析和微量化学合成。使用无荧光、具有优异的耐化学腐蚀性的石英玻璃,我们利用本公司卓越的流路表面性能及高精度加工技术,为客户提供高品位的微流控芯片。

微流控芯片的规格

项目 可加工精度范围 备注
产品尺寸 ≦□5”
流路宽度 ≧5μm 1μm级精度的正在开发中
流路深度 ≧2μm 1μm级精度的正在开发中
样本导入孔径 ≧φ100μm φ10μm级别的正在开发中

※表内数字是指典型值。关于产品相关规格的设定,我们将与客户磋商后确定。

制造・检测装置部件

本公司也采用微流控芯片制造中所用的精密加工技术加工 MEMS用部件。使用热膨胀系数小的石英玻璃可以制作具有优异的热稳定性的 MEMS部件。
利用石英玻璃良好的透光性、耐热性、耐溶剂性及高纯度、低热膨胀率等特性,本公司制作运用于半导体制造装置及光通讯相关装置等方面的各种精密零部件。我们根据客户的规格需求,选择最合适的石英玻璃素材和加工方法,制作让客户满意的制品。

材料及加工方法

项目 种类
石英玻璃素材 透明,不透明,黑色
加工 切槽,圆孔,方孔
表面处理 光学研磨、热处理加工(透明处理)、半透明处理
掩蔽 镀铬,镀铝,黑色石英

线状灯

线性灯是一种使用石英玻璃柱的照明器件,因为能获取定向性优异、光亮模糊和偏颇小的高均匀性的强光,使之成为搭配有CCD 或线性传感器的各种检测装置和扫描仪的最佳光源。也可以作为卤素灯和金属卤化物灯以及 LED 纤维光导的光源,线性灯还具有来自照射面的热放射低的特点。 此外,由于灯柱和光源部分是分立的,更换灯管等维护也变的容易了。本产品可以提供有效发光长度为100㎜至3000㎜长度的产品。