东曹石英株式会社

产品信息

热工工艺用产品

试管、舟皿等是 CVD 和氧化/扩散工艺必不可少的用品。随着这些设备变得更高级,我们每天都在提高这些产品的品质,其中包括耐热性、纯度和粒子测量精度。我们的最新测量技术,以及我们可靠的加工技术,将帮助我们公司满足客户高水平的需求。为了满足对更大尺寸产品的需求,我们开发了大直径石英玻璃材料,其中包括直径超过 1,000 毫米的试管和法兰。

  • 法兰

  • 大尺寸法兰(不透明)

产品适用于蚀刻制程

随着硅晶片变得更大和蚀刻设备更多样化,蚀刻工艺中所用的石英玻璃产品所需的表面均匀性和缩形程度要求也变得更加严格。我们公司通过引进新的加工方法和改良的加工技术,应对这些日益复杂的要求。

  • 盘子