製品情報〈半導体用製品〉
サーマルプロセス用製品
CVD工程や酸化・拡散工程に不可欠なチューブ、ボート等は、デバイスの高度化の中で、高耐熱、高純度、パーティクル対策等、日々高品質化しています。当社は、最新の測定技術と実績ある加工技術で高度な要望に応えています。 また、大型化要求に対しては、φ1000mmを超えるチューブやフランジ等の大口径石英ガラス部材を実現しています。
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チューブ
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フランジ
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大型フランジ（不透明）
エッチングプロセス用製品
シリコンウェハーの大型化やエッチャー装置の多様化により、エッチング工程で使用される石英ガラス製品では表面均一性に対する要求品質が厳しくなると共に、微細化についての要求も強くなってきています。当社は、新たな加工方法の導入や加工技術の向上で、高度化する要求に対応しています。
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プレート
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リング